IT之家 6 月 2 日消息，北方华创今日发布全新 12 英寸气体团簇离子束（GCIB）刻蚀设备 Acme Glaion130。 该设备突破三大核心技术瓶颈， 覆盖先进逻辑、存储、封装、硅光芯片及 AR / VR 应用场景 。 随着集成电路制程向先进节点迈进，芯片特征尺寸进入原子级，对加工精度、表面质量和损伤控制提出严苛要求，而传统化学机械抛光（CMP）、等离子刻蚀存在划痕、亚表面损伤、精度有限等短板，无法满足先进逻辑、存储、硅光芯片等领域的核心需求。在此背景下， 离子束刻蚀凭借原子级精度和近零损伤优势，成为后摩尔时代半导体制造的关键工艺装备 。 IT之家从公告获悉，传统等离子刻蚀依赖化学反应 + 离子轰击实现材料去除，而离子束刻蚀通过将离子加速并中和后直接轰击晶圆表面，依靠物理溅射完成材料去除，两者原理差异决定了性能差距。 与传统工艺相比， 团簇离子束刻蚀精度为纳米级，方向性更佳，可实现近零损伤加工 ；几乎适配所有材料，工艺灵活性更高，能完成晶圆局部定点精修、任意角度刻蚀等复杂需求。 Acme Glaion130 成功攻克业内三大技术难题，实现关键技术自主： 气体团簇离子源技术： 与常规单体离子源技术相比，刻蚀速率更快、表面质量更优、工艺损伤更低；团簇离子源的稳定性和束流质量达到同类型设备的更优水平，为原子级刻蚀提供核心支撑。 高速运动下电极技术： 可实现晶圆的精准、快速定位，解决了高速运动下的稳定性难题，保障加工精度。 动态精确控制算法： 搭载原位膜厚量测装置，形成所需刻蚀 Map 并优化载台运动轨迹，实现晶圆局部定点精修。 Acme Glaion130 具备多场景兼容能力，满足高端芯片及前沿领域刻蚀需求： 先进逻辑 / 存储芯片领域： 通过定向刻蚀节省光罩层、降低工艺成本；设备实现高选择比刻蚀，可降低线条侧壁粗糙度、消除桥连缺陷，提升器件良率和性能，保障先进逻辑及存储芯片量产。 先进封装领域： 实现表面活化、污染物去除及精准修平，提升晶圆键合质量和膜厚均一性，助力三维集成技术发展。 硅光芯片领域：可实现原子级表面平坦度，降低光散射损耗，提升光通信效率，助力硅光芯片产业向高端化迭代升级。 AR / VR 领域： 支持离子束入射角度灵活调节，实现光栅刻蚀高均一性和渐变深度刻蚀，助力 AR / VR 设备光学性能升级。 北方华创表示，Acme Glaion130 实测性能优异，整面刻蚀膜厚控制精准，保持原子级光滑表面， 综合性能达到同类型设备领先水平 。
References 说明 · acmesh-official/acme.sh Wiki dnsapi · acmesh-official/acme.sh Wiki — dnsapi · acmesh-official/acme.sh Wiki 前置条件 有服务器 有域名 域名设置到Cloudflare 优点 泛域名省事，nginx通配 自动延长证书有效期 设置DNS 准备 CF_Zone_ID 和 CF_Token 准备 CF_Zone_ID 位置在对应域名的概述窗格下，cloudflare前端界面可能会改变，图片仅供参考。 准备 CF_Token select Zone -> DNS -> Edit , and under Zone Resources, only choose the domain we need. 大概像这样，确定后保存好 CF_Token 申请 安装acme 在服务器上，以Ubuntu为例。 sudo apt update sudo apt install socat curl https://get.acme.sh | sh -s [email protected] source .bashrc acme.sh -h 最后一步能显示，说明安装成功。 安装证书 export CF_Token="**************" export CF_Zone_ID="*************" # 申请证书 # zyhq.de换成自己的域名 acme.sh --issue --dns dns_cf -d zyhq.de -d '*.zyhq.de' /etc/nginx/ssl 属主是 root, acme.sh 以用户zyhq运行,写不进去，需要把目录属主改成当前用户zyhq。 # zyhq换成自己的用户名 sudo chown -R zyhq:zyhq /etc/nginx/ssl # 安装证书 # zyhq.de换成自己的域名 acme.sh --install-cert -d zyhq.de \ --key-file /etc/nginx/ssl/zyhqde_key.pem \ --fullchain-file /etc/nginx/ssl/zyhqde_cert.pem \ --reloadcmd "sudo service nginx reload" 以nginx为例，其余参考最上面的references. 完成。 3 个帖子 - 3 位参与者 阅读完整话题
https://mp.weixin.qq.com/s/3-dtS26cmEBvyUOaAjORbw 1 个帖子 - 1 位参与者 阅读完整话题
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据CME“美联储观察”，美联储到6月维持利率不变的概率为98.5%，累计降息25个基点的概率为1.5%。美联储到7月维持利率不变的概率为91.3%，累计加息25个基点的概率7.4%，累计降息25个基点的概率为1.4%。（界面）
据CME“美联储观察”：美联储到6月维持利率不变的概率为98.4%，累计降息25个基点的概率为1.6%。美联储到7月维持利率不变的概率为89.1%，累计加息25个基点的概率9.5%，累计降息25个基点的概率为1.5%。（财联社）
据CME“美联储观察”：美联储到6月维持利率不变的概率为98.1%，累计降息25个基点的概率为1.9%。美联储到7月维持利率不变的概率为84.7%，累计加息25个基点的概率13.6%，累计降息25个基点的概率为1.6%。（财联社）
据CME“美联储观察”，美联储到6月维持利率不变的概率为97%，累计降息25个基点的概率为3%。美联储到7月维持利率不变的概率为81.9%，累计加息25个基点的概率15.5%，累计降息25个基点的概率为2.5%。（财联社）
据CME“美联储观察”，美联储到6月维持利率不变的概率为98.6%，累计降息25个基点的概率为1.4%。美联储到7月维持利率不变的概率为92.4%，累计加息25个基点的概率6.3%，累计降息25个基点的概率为1.3%。（界面）
据CME“美联储观察”：美联储到6月维持利率不变的概率为98.4%，累计降息25个基点的概率为1.6%。美联储到7月维持利率不变的概率为90.2%，累计加息25个基点的概率8.4%，累计降息25个基点的概率为1.4%。（财联社）
据CME“美联储观察”：美联储到6月维持利率不变的概率为99.3%，累计加息25个基点的概率为0.7%。美联储到7月维持利率不变的概率为94%，累计加息25个基点的概率5.9%。（财联社）
据CME“美联储观察”：美联储到6月维持利率不变的概率为99.2%，累计降息25个基点的概率为0.8%。美联储到7月维持利率不变的概率为88.6%，累计加息25个基点的概率11.3%，累计降息25个基点的概率为0%。（财联社）
据CME“美联储观察”：美联储到6月维持利率不变的概率为96.8%，累计加息25个基点的概率为3.2%。美联储到7月维持利率不变的概率为85.4%，累计加息25个基点的概率14.2%，累计加息50个基点的概率为0.4%。（财联社）
据CME“美联储观察”：美联储到6月维持利率不变的概率为96.8%，累计降息25个基点的概率为3.2%。美联储到7月维持利率不变的概率为93.8%，累计降息25个基点的概率为3.1%，累计加息25个基点的概率为3.1%。（财联社）
5月12日，芝商所（CME）与Silicon Data宣布，将于今年晚些时候推出算力期货市场，目前正在等待监管部门审查。新的期货合约将使交易员、金融机构、AI开发者以及云服务提供商能够对数万亿美元规模的算力市场中的波动性和价格风险进行对冲与管理。这些产品将基于Silicon Data的指数构建，该指数是全球首个针对按需租用GPU费率的每日基准指标。（界面）
据CME“美联储观察”：美联储到6月维持利率不变的概率为97.1%，累计降息25个基点的概率为2.9%。美联储到7月维持利率不变的概率为96%，累计降息25个基点的概率为3.9%。（财联社）
据CME“美联储观察”：美联储到6月维持利率不变的概率为93.5%，累计降息25个基点的概率为6.5%。美联储到7月维持利率不变的概率为86.5%，累计降息25个基点的概率为13.0%，累计降息50个基点的概率为0.5%。（财联社）
据CME“美联储观察”，美联储到6月维持利率不变的概率为96.0%，累计降息25个基点的概率为4.0%。美联储到7月维持利率不变的概率为88.8%，累计降息25个基点的概率为10.9%，累计降息50个基点的概率为0.3%。（界面）
据CME“美联储观察”：美联储到6月维持利率不变的概率为92.8%，累计降息25个基点的概率为7.2%。美联储到7月维持利率不变的概率为88.8%，累计降息25个基点的概率为10.9%，累计降息50个基点的概率为0.3%。（财联社）
据CME“美联储观察”：美联储到6月维持利率不变的概率为99%，累计降息25个基点的概率为1%。美联储到7月维持利率不变的概率为99%，累计降息25个基点的概率为1%。美联储到9月维持利率不变的概率为98.8%，累计降息25个基点的概率为1.2%。（界面）