IT之家 6 月 2 日消息，北方华创今日发布全新 12 英寸气体团簇离子束（GCIB）刻蚀设备 Acme Glaion130。 该设备突破三大核心技术瓶颈， 覆盖先进逻辑、存储、封装、硅光芯片及 AR / VR 应用场景 。 随着集成电路制程向先进节点迈进，芯片特征尺寸进入原子级，对加工精度、表面质量和损伤控制提出严苛要求，而传统化学机械抛光（CMP）、等离子刻蚀存在划痕、亚表面损伤、精度有限等短板，无法满足先进逻辑、存储、硅光芯片等领域的核心需求。在此背景下， 离子束刻蚀凭借原子级精度和近零损伤优势，成为后摩尔时代半导体制造的关键工艺装备 。 IT之家从公告获悉，传统等离子刻蚀依赖化学反应 + 离子轰击实现材料去除，而离子束刻蚀通过将离子加速并中和后直接轰击晶圆表面，依靠物理溅射完成材料去除，两者原理差异决定了性能差距。 与传统工艺相比， 团簇离子束刻蚀精度为纳米级，方向性更佳，可实现近零损伤加工 ；几乎适配所有材料，工艺灵活性更高，能完成晶圆局部定点精修、任意角度刻蚀等复杂需求。 Acme Glaion130 成功攻克业内三大技术难题，实现关键技术自主： 气体团簇离子源技术： 与常规单体离子源技术相比，刻蚀速率更快、表面质量更优、工艺损伤更低；团簇离子源的稳定性和束流质量达到同类型设备的更优水平，为原子级刻蚀提供核心支撑。 高速运动下电极技术： 可实现晶圆的精准、快速定位，解决了高速运动下的稳定性难题，保障加工精度。 动态精确控制算法： 搭载原位膜厚量测装置，形成所需刻蚀 Map 并优化载台运动轨迹，实现晶圆局部定点精修。 Acme Glaion130 具备多场景兼容能力，满足高端芯片及前沿领域刻蚀需求： 先进逻辑 / 存储芯片领域： 通过定向刻蚀节省光罩层、降低工艺成本；设备实现高选择比刻蚀，可降低线条侧壁粗糙度、消除桥连缺陷，提升器件良率和性能，保障先进逻辑及存储芯片量产。 先进封装领域： 实现表面活化、污染物去除及精准修平，提升晶圆键合质量和膜厚均一性，助力三维集成技术发展。 硅光芯片领域：可实现原子级表面平坦度，降低光散射损耗，提升光通信效率，助力硅光芯片产业向高端化迭代升级。 AR / VR 领域： 支持离子束入射角度灵活调节，实现光栅刻蚀高均一性和渐变深度刻蚀，助力 AR / VR 设备光学性能升级。 北方华创表示，Acme Glaion130 实测性能优异，整面刻蚀膜厚控制精准，保持原子级光滑表面， 综合性能达到同类型设备领先水平 。
news.qq.com – 1 Jun 26 SK海力士韩国芯片工厂气体泄漏，3600人紧急疏散、6人受伤_腾讯新闻 SK海力士位于韩国清州的芯片工厂发生火灾并引发氢氟酸泄漏，数千名员工被紧急疏散，事故对生产运营的潜在冲击引发外界关注。据路透社援引韩联社报道，事故发生于当地时间6月1日上午10时32分，起火点位于清州第四园区M15与M15X工厂之间连接区域六楼的气体室。火势在喷淋系统启动后迅速得到控制，但过程中部分氢氟酸气体外泄... 内存这是本来想着降价的是么，这个着火看起来如此的熟悉，此时此刻，恰如彼时彼刻啊。 11 个帖子 - 10 位参与者 阅读完整话题
IT之家 5 月 22 日消息，美国宇航局昨日（5 月 21 日）确认， 国际空间站俄罗斯舱段的 PrK 模块再次出现空气泄漏。 美国宇航局已持续追踪该问题超过 5 年，今年 1 月官方宣布， 经过多次检查和密封处理后，该舱段内部压力已进入“稳定状态” 。 IT之家查询公开资料，PrK 模块本质上是连接俄罗斯“星辰号”（俄语：Звезда）服务舱与对接口的过渡通道。按报道，泄漏源头是微小结构裂缝，这类裂缝很难精确定位，也不容易彻底修复。 国际空间站在太空中的整体外观，图源：美国宇航局 俄罗斯宇航员于 5 月 1 日从 Progress 95 货运飞船卸下货物后，Roscosmos 记录到 PrK 模块出现“缓慢压降”，随后继续监测变化。 美国宇航局发言人 Josh Finch 表示，数据分析显示，该区域空气损失约为每天 1 磅（IT之家注：约 0.45 千克），当前修补方案让过渡通道维持在更低压力，并在需要时少量补压。 美国宇航局强调，这一情况暂未影响空间站运行，NASA 与 Roscosmos 也在协调下一步处理方案。
IT之家 4 月 17 日消息，据央视新闻报道，4 月 17 日 12 时 10 分，我国在酒泉卫星发射中心使用长征四号丙运载火箭， 成功将高精度温室气体综合探测卫星发射升空 ，卫星顺利进入预定轨道，发射任务取得圆满成功。 IT之家注意到，这次任务是长征系列运载火箭的第 638 次飞行。 高精度温室气体综合探测卫星是《国家民用空间基础设施中长期发展规划》中的业务卫星，运行于太阳同步轨道，配置大气探测激光雷达、宽幅高光谱温室气体监测仪、红外高光谱大气成分探测仪、紫外高光谱大气成分探测仪、云和气溶胶成像仪 5 台有效载荷。 该卫星将在全球首次实现主被动高精度宽幅温室气体探测以及紫外红外污染气体联合探测 ，对全球温室气体进行高精度、大范围、高分辨率探测，采用主动激光雷达、天底临边联合、紫外红外联合探测方法，大幅度提升污染气体探测空间分辨率和垂直探测能力。
36氪获悉，华特气体公告，公司股东厦门华弘多福、华和多福、华进多福通过大宗交易合计减持公司股份239.99万股，占公司总股本1.88%，减持计划完成。其中，华弘多福提前终止减持计划，减持115.99万股，减持总金额1.76亿元；华和多福减持68万股，减持总金额1.03亿元；华进多福减持56万股，减持总金额8474万元。
36氪获悉，和远气体公告，目前公司宜昌和潜江两大电子特气产业园规划的系列电子特气产品尚处于试生产阶段。其中：仅有电子级一氧化碳、高纯氨、羰基硫、硅烷实现销售，销售额占比不足5%，对公司业绩影响很小；电子级三氟化氮、六氟化钨、二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、乙硅烷等电子特气尚处于试生产阶段，产能释放不及预期，试生产过程中“稳产-量产-产能爬坡”尚需较长时间，且尚未取得下游国内外头部半导体企业的正式认证，还未产生任何业绩，预计2-3年内对公司经营业绩不会产生重大影响。
36氪获悉，和远气体发布股票交易异常波动公告，公司近期关注到有媒体报道“日本六氟化钨供应商因原材料供应问题计划削减下半年产量”及“公司可能受益于境外厂商停产”等市场传闻；同时，公司关注到股吧等网络平台有个别用户发表涉及公司六氟化钨产品产能下半年量产、已获客户认证的不实内容。经公司自查，目前公司六氟化钨产品尚处于试生产阶段，公司尚未签署任何具有法律约束力的实质性订单协议，且该产品尚未产生任何业绩。公司郑重提醒广大投资者，公司六氟化钨产品相关信息请以公司在深交所网站及指定信息披露媒体上刊登的正式公告为准，切勿轻信网络平台的不实言论。
36氪获悉，侨源股份公告，公司全资子公司侨源气体(眉山)有限公司与万华化学（四川）有限公司在四川省眉山市签署《工业气体供应合同》，根据合同初步测算，管道气体合同金额约1.7亿元（不含税）。
36氪获悉，中远海能公告，公司间接全资子公司远海液化天然气投资有限公司拟与期租承租方签订船舶期租合同，出租2艘大型气体船，租期20年，租期内总租金约59亿元。本次交易旨在满足客户需求，增强盈利能力，已获董事会审议通过，不构成关联交易或重大资产重组。
36氪获悉，和远气体发布股票交易异常波动的公告，公司近期关注到股吧等网络平台有个别用户发表涉及公司六氟化钨产品产能下半年量产、已获客户认证的不实内容。经公司自查，目前公司六氟化钨产品尚处于试生产阶段，公司尚未签署任何具有法律约束力的实质性订单协议，且该产品尚未产生任何业绩。公司郑重提醒广大投资者，公司六氟化钨产品相关信息请以公司在深圳证券交易所网站及指定信息披露媒体上刊登的正式公告为准，切勿轻信网络平台的不实言论。
36氪获悉，和远气体公告，持股5%以上股东湖北交投资本投资有限公司计划自公告披露之日起十五个交易日后的三个月内，以集中竞价方式减持公司股份不超过165万股（占公司总股本比例0.7793%），减持原因为自身资金需求。
盘后数据显示，5月7日龙虎榜中，共74只个股出现了机构的身影，有38只股票呈现机构净买入，36只股票呈现机构净卖出。当天机构净买入前三的股票分别是西部材料、兴森科技、中国长城，净买入金额分别是4.81亿元、3.64亿元、2.61亿元。当天机构净卖出前三的股票分别是金宏气体、宝光股份、广信股份，净流出金额分别是3.05亿元、2.18亿元、2.18亿元。（第一财经）
36氪获悉，九丰能源公告，公司控股子公司江西九丰稳同新材料有限公司拟对外投资建设某类同位素产品项目，项目总投资18.42亿元。本项目实施后，公司将进一步培育高壁垒的资源型产品，丰富公司特种气体客户所需的产品结构，并与公司现有其他特种气体产品（氦气、氢气及其他特燃特气等）形成互补、高效协同；同时，公司将在锚定的特燃特气客户领域基础上，进一步服务医疗与大健康、OLED、光纤、半导体等产业领域。